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真空室組件
產品名稱:真空室組件
材料:316L不銹鋼
尺寸:450 × 430 × 220mm
處理方法:5軸CNC加工
產品特點:
我們的5軸數控加工真空室展示了卓越的精密制造技術能力。專為滿足半導體設備對氣密密封 (± 0.005mm幾何公差) 和超清潔表面的嚴格要求而設計，我們實現了復雜曲率、專用流道、和高精度接口通過多軸同步加工，消除了重新定位誤差。
專用工具和溫度控制工藝克服了薄壁不銹鋼加工中的變形挑戰。結合鏡面拋光和顆粒控制技術，我們保證ra ≤ 0.1 μ m的表面粗糙度，確保在10？6 Pa真空環境中的穩定性。
通過專有的CAM編程優化和實時檢測系統，我們實現了99% 的復雜結構成品率。該解決方案為半導體設備制造商提供了核心腔室組件，可提供極高的精度和可靠性，為真空關鍵應用設定了新的標準。
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