產(chǎn)品名稱(chēng):晶圓夾具組件

材料:316L不銹鋼

尺寸:360*400*200mm

處理方法:5軸CNC加工

產(chǎn)品特點(diǎn):

該晶圓夾具組件通過(guò)先進(jìn)的5軸數(shù)控集成加工制造，克服了傳統(tǒng)的加工限制，完美滿(mǎn)足晶圓處理的納米級(jí)精度要求。

為了實(shí)現(xiàn)微米級(jí)的幾何公差，多軸同步技術(shù)實(shí)現(xiàn)了全方位的精密切割，在一次設(shè)置中完成多表面高光加工，消除了重新定位誤差。材料應(yīng)力模擬優(yōu)化了切削參數(shù)，確保結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性和抗變形性，同時(shí)符合潔凈室無(wú)塵和無(wú)污染標(biāo)準(zhǔn)。

實(shí)時(shí)過(guò)程檢測(cè)和智能補(bǔ)償系統(tǒng)保證臨界尺寸精度在 ± 0.002毫米和Ra ≤ 0.1微米的表面粗糙度。該組件為晶圓轉(zhuǎn)移和定位提供了零缺陷的可靠性，展示了我們公司在高精度半導(dǎo)體設(shè)備制造方面無(wú)與倫比的專(zhuān)業(yè)知識(shí)。